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电磁阀真空He标准漏孔
产品类别:质量控制与测试工程
1)定制漏率:1x10-4pa.m³/sec~5x10-10pa.m³/sec
2)全气体支持: 包括但不限于He, H2, 5%H2/95%N2, D2, He3, Ar, Ke, Ne,Xe, N2, CO2, CO, CH4, 各种卤素/冷媒, 混合气体...)。

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