RMI-PSOZV™主动关闭零体积气动阀标准漏孔
产品类别:质量控制与测试工程
睿米®自研RMI-MZV™手动零体积气动阀,结合RMI-Metal™金
属密封和RMI-MTCTM微通道毛细管工艺,标准漏孔的死体积
(Dead Volume)<0.1μL(仅0.000098cm³),支持>10Mpa压力且漏率<1.0x10-8atm.cc/sec, 处于国际领先水平, 实现:
1.高真空或超高真空系统零冲击
2. 自然衰减趋近零(不使用时关闭阀门)
3.极低衰减|漏率稳定|多年免补气|免维护
4. 适合大漏率、高真空/超高真空、四级杆质谱等场景,特别是需要使用昂贵气体、保证气体纯度的场景(如Xe,Kr等同位素气体)
5. 支持所有气体,或混合气